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無塵車間的潔凈度可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在寬大的無塵車間內要**潔凈是不可能的。因此技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常發(fā)生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

無塵車間空氣的一個進步，是**新空氣凈化器和潔凈。它有一個可替換的過濾器，你需要一年更換一次，但實際上，**好的部分是維修過程可瞬間完成，只需要幾分鐘的。這些空氣凈化器捕獲并殺死空氣中細菌，霉菌和病毒。更重要的是，它為企業(yè)提供了潔凈的工作環(huán)境，

無塵車間所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵車間